Microscop electronic de baleiaj VERIOS 5 XHR SEM

Microscop electronic de baleiaj VERIOS 5 XHR SEM

Verios 5 XHR este cel mai avansat microscop electronic de baleiaj de rezolutie ultra-inalta (UHR-SEM) echipat cu tun electronic cu emisie in camp de tip Schottky si monocromator (UC+), ce ofera contrast de material excelent si rezolutie sub-nanometrica pe intregul interval de 1 - 30 kV. Coloana electronica Elstar este optimizata pentru performante de imagistica la rezolutie ultra-inalta pe probe de Stiinta Materialelor: nanoparticule, particule catalitice, nanotuburi, materiale nanoporoase, interfete, nanodispozitive, nanobiotehnologii si alte configuratii nanometrice. Alinierea automata a coloanei (SmartAlign) garanteaza reproductibilitatea rezultatelor, chiar si pe cele mai sensibile materiale la electronii accelerati. Camera analitica cu latimea interna de 379 mm si mobilitatea in plan de 150 mm x 150 mm sunt potrivite pentru caracterizarea in stare bruta a probelor voluminoase, cum ar fi plachete si substraturi semiconductoare, materiale minerale, metalurgice, compozite.
Caracteristicile tehnice si nivelul ridicat de automatizare al Verios 5 XHR SEM confera acestuia performante industriale de caracterizare morfo-structurala de inalta precizie, prin randamentul ridicat, flexibilitatea procedurilor analitice si usurinta utilizarii. In nanofabricatie si industria semiconductorilor, seria Verios s-a impus ca un instrument de referinta pentru cercetarea fundamentala, dezvoltarea materialelor avansate, monitorizarea proceselor tehnologice, analiza impuritatilor si a defectelor. Stabilitatea si coerenta fasciculului electronic, precizia micrometrica de deplasare piezoelectrica a mesei probei, software-ul standard de nanostructurare, functia de obturare a fasciculului, picoampermetrul integrat si sistemele auxiliare de acoperire in mediu gazos reprezinta cerinte tehnice esentiale pentru nanofabricatie si litografie cu fascicul de electroni (EBL).

Sursa electronica FEG UC+ de stralucire ultra-inalta genereaza fasciculul electronic cu cea mai mica dispersie energetica (< 0.2 eV), superioara oricarui tip de FEG conventional (Schottky-FEG sau Cold-FEG). Stabilitatea curentului de emisie de pana la 100 nA permite efectuarea analizelor structurale la rezolutie ridicata pe materiale slab conductive sau dielectrice prin reducerea incarcarii electrostatie si a contaminarii la tensiuni de accelerare joase (0.7 nm la 1 kV). Proiectarea unica a coloanei electronice Elstar contribuie fundamental la atingerea rezolutiei native de 0.6 nm pe domeniul 2 - 30 kV, cu ajutorul sistemului de detectie din coloana (ICD + MD), din lentile (TLD) si camera probei (ETD, DBS si STEM). Datorita stabilitatii termice ridicate a lentilelor condensoare alimentate constant si a baleierii electrostatice liniare a fasciculului pe proba, se obtin la fiecare utilizare rezultate rapide, precise si reproductibile. Configuratia standard a sistemului Verios 5 XHR include functia de decelerare a fasciculului de electroni incidenti (Beam Deceleration), care permite obtinerea unor energii de coliziune a electronilor incidenti pe suprafata probelor analizate variind de la minim 20 eV si pana la 30 keV. Decelerarea fasciculului reprezinta o tehnica suplimentara de optimizare a contrastului vizual si de crestere a senzitivitatii de detectie pe suprafete neconductive.

Cei trei detectori din coloana impreuna cu imersia electromagnetica (Immersion Mode) specifica lentilelor finale compuse (electrostatice si electromagnetice) colecteaza simultan semnale SE si BSE in functie de energia si traiectoria lor, pentru investigarea completa a probelor orizontale, inclinate sau in sectiune. ICD poate fi utilizat impreuna cu functia de decelerare a fasciculului si este specializat in detectia semnalelor directe BSE cu pierderi mici de energie, dupa directii cvasi-paralele cu axa optica principala. Detectorul MD se utilizeaza pana la 500 eV pentru obtinerea unui excelent contrast de material cu ajutorul semnalelor BSE emise dupa directii diferite fata de axa optica principala. In combinatie cu detectorul TLD, achizitioneaza simultan semnale SE si BSE in coloana si lentila. Detectorul TLD functioneaza in imersie pentru imagistica de rezolutie ultra-inalta SE si BSE, prin neutralizarea sarcinilor de pe suprafata probei.  

Detectorii din camera si functia de decelerare a fasciculului asigura imagistica rapida si usoara cu toate semnalele simultan, pentru evidentierea celor mai mici detalii de pe suprafata sau in sectiune. Detectorul ETD (Everhart-Thornley) de tip fotomultiplicator cu scintilator este montat permanent in camera probei pentru colectarea semnalelor SE sau BSE (prin polarizare inversa). Detectorul retractabil DBS cu modurile CBS si ABS este folosit pentru detectia selectiva a semnalelor BSE pentru imagistica de contrast avansata. CBS este detectorul segmentat concentric ce colecteaza semnalele in functie de unghiul de propagare la iesirea din substratul probei. Segmentele azimutale distribuite in jurul inelului central ale detectorului ABS evidentiaza detaliile topografice ale suprafetei prin accentuarea contrastului compozitional. Detectorul DBS capteaza simultan semnale cu oricare dintre segmentele CBS sau ABS la o singura baleiere pe proba, afisandu-le independent in cele 4 cadrane ale interfetei grafice xT, sau mixat in nuante de gri sau in pseudo-culori atribuite preferential. Detectorul STEM 3+ segmentat si retractabil ofera informatii structurale detaliate cu rezolutia de 0.6 nm la 30 kV si contrastul excelent al modurilor de detectie BF, DF, HAADF, eliminand astfel necesitatea analizei S/TEM complementare.

Pentru detalii click aici

Cere o oferta pentru Microscop electronic de baleiaj VERIOS 5 XHR SEM

Produse Asemanatoare