Microscop electronic cu fascicul dual HELIOS G4 PFIB

Microscop electronic cu fascicul dual HELIOS G4 PFIB

Thermo Scientific Helios G4 PFIB s-a impus ca instrumentul de referinta in industria semiconductorilor datorita performantelor remarcabile ale coloanei ionice cu sursa de Xe PFIB 2.0 si a celei electronice Elstar cu sursa Schottky FEG cu monocromator. Solutiile software complet automatizate pentru nanostructurare, prepararea probelor HR-S/TEM si imagistica 3D asigura usurinta in exploatare si reproductibilitatea rezultatelor. Continand detectori in coloana si camera probei pentru colectarea electronilor secundari, retroimprastiati, transmisi si a ionilor secundari, se obtine un sistem de detectie extrem de flexibil pentru toate aplicatiile de stiinta materialelor. Masa probei actionata piezo-electric, camera video alb-negru CCD-IR si cea color NavCam permit navigarea cu precizie pe probe mari sau intre multiple probe, fara risc de coliziune cu elementele camerei vidate, care e prevazuta cu sistem avansat anticoliziune.
Studiul complex al materialelor sau identificarea defectelor interne implica multiple provocari de localizare precisa a regiunilor de interes si a caracteristicilor de mici dimensiuni. Sistemul Helios G4 PFIB contine cele mai moderne inovatii tehnologice si cele mai eficiente solutii software de preparare probe, vizualizare si analiza 3D. Coloana PFIB 2.0 asigura viteza si precizia corodarii ionice in toate conditiile de lucru, pentru configurarea precisa a structurilor, cu fatete netede si fara contaminare cu Ga+. Daca la tensiunea de accelerare maxima se obtine putere de corodare mare si rezolutia de 10 nm la punctul de coincidenta, aceasta poate fi coborata pana la 2 kV pentru fabricarea de inalta precizie a lamelelor TEM si a structurilor nanometrice. Coloana electronica de flexibilitate ridicata garanteaza rezolutia de 0.6 nm la 30 kV si 0.7 nm la 1 kV, coborand tensiunea de accelerare la cateva sute de volti si curentul pe proba sub 1 pA pentru vizualizarea la rezolutie sub-nanometrica a celor mai sensibile probe, cu sau fara utilizarea functiei de decelerare a fasciculului. Sistemele optionale GIS (Gas Injection System) si MultiChem permit desfasurarea experimentelor complexe de microscopie electronica in situ si diversificarea metodelor de configurare a substratului.     

Sursa electronica FEG de stralucire ultra-inalta este echipata cu monocromator UC+ si atinge curenti de fascicul de pana la 100 pA si dispersie energetica sub 0.2 eV, ceea ce permite examinarea celor mai sensibile probe la energii de fascicul foarte mici. Coloana electronica Elstar asigura cel mai bun contrast si rezolutie sub-nanometrica la orice valoare a tensiunii de accelerare cuprinsa in intervalul 1 – 30 kV. Lentilele electromagnetice alimentate constant, lentilele electrostatice compuse si functiile de aliniere automata aflate la dispozitia utilizatorului contribuie la demararea imediata a procesului de caracterizare si obtinerea rapida a imaginilor de inalta rezolutie. Sistemul de detectie in coloana impreuna cu imersia electromagnetica este proiectat sa colecteze simultan semnale secundare SE si BSE la unghiuri de propagare si energii diferite pentru cele mai detaliate imagini de suprafata, plan inclinat sau sectiune. Detectorii ficsi sau retractabili situati in camera probei si modul de decelerare a fasciculului permit colectarea rapida a tuturor tipurilor de electroni secundari, retroimprastiati si transmisi.

Coloana PFIB 2.0 permite finisarea suprafetelor cu ioni de energie mica pentru reducerea defectelor de prelucrare si obtinerea rezultatelor calitative si reproductibile pe orice tip de proba. Sursa cu ioni de Xe si putere mare de corodare face posibila prelucrarea rapida a volumelor mari de material la o rezolutie statistica de 20 nm la 30 kV. Cunoasterea morfologiei suprafetei si a structurii interne a devenit obligatorie pentru caracterizarea completa a materialelor avansate in industria semiconductorilor, inginerie, petro-chimie si geologie. Software-ul optional AutoSlice and View 4 automatizeaza intregul proces de corodare si imagistica 3D pentru a oferi rezultate calitative, reprezentative si reproductibile cu ajutorul numeroaselor moduri de detectie: morfologie SE si SI, contrast BSE, compozitie EDS sau cristalografie si microstructura EBSD. Adaugand pachetele software Avizo for Materials Science sau Industrial Inspection, se obtine cea mai cuprinzatoare procedura de reconstructie morfo-structurala 3D la scara nanometrica.

Pentru detalii click aici

Cere o oferta pentru Microscop electronic cu fascicul dual HELIOS G4 PFIB

Produse Asemanatoare