Scios 2 DualBeam ofera cea mai completa tehnologie de examinare morfologica, analitica si in volum prin diversitatea detectorilor pozitionati in coloana si in camera microscopului, precum si a solutiilor software automatizate) pentru caracterizarea multimodala si 3D a substratului, cu orientare precisa pe aria de interes. Flexibilitatea oferita de suportul cu deplasare in plan de 110 mm si inclinare de 90º permite manipularea in siguranta a probelor voluminoase cu inaltimea de pana la 85 mm si navigarea pe suprafete extinse cu ajutorul camerei video color Nav-Cam. Proiectat pentru cele mai pretentioase experimente de microscopie electronica in Stiinta Materialelor, Scios 2 poate fi configurat cu suportul termic µHeater pentru caracterizarea in conditii reale de functionare a dispozitivelor MEMS. Domeniile de aplicatii pot fi extinse cu ajutorul modului cu presiune variabila, ce permite examinarea in stare nativa a diferitelor tipuri de materiale slab conductive, dielectrice, poroase sau umede. Sunt disponibile totodata accesorii optionale de corodare si acoperire conductiva sau izolatoare in mediu gazos, pentru configurarea unui instrument FIB/SEM de inalta complexitate tehnologica.
Coloana electronica NICol cu aliniere automatizata ofera cea mai mare flexibilitate de caracterizare la rezolutie ultra-inalta a diferitelor tipuri de probe, datorita sistemului de detectie in coloana Trinity si a curentilor de fascicul de pana la 400 nA. Evidentierea detaliilor nanometrice poate fi realizata deopotriva la energie de accelerare mare, in modul de vizualizare STEM la 30 keV pentru informatii structurale, sau la energii mici pentru reducerea incarcarii electrostatice si a contaminarii suprafetei. Sistemul Thermo Fisher Trinity cu trei detectori in coloana este destinat achizitionarii independente sau corelate a semnalelor SE si BSE emise la diferite energii si unghiuri de propagare. Se obtine astfel cel mai bun contrast de imagine, care ofera informatii complete despre probe inclinate sau in sectiune. Detectorul optional DBS cu doua moduri de achizitie (ACS si CBS) este introdus hidraulic intre lentilele finale si proba pentru colectarea simultana a tuturor tipurilor de semnale secundare, iar impreuna cu functia de decelerare a fasciculului electronic (Beam Deceleration), permite evidentierea tuturor detaliilor morfologice indiferent de conductivitatea materialului.
Vizualizarea in profunzime a probelor este necesara pentru cunoasterea aprofundata a structurii si proprietatilor materialelor. Solutia software AutoSlice & View 4 permite achizitia automata a datelor multimodale 3D dintr-un volum reprezentativ al probei, incluzand printre altele imagini BSE pentru contrast de material, Spectroscopie de Raze X cu Dispersie dupa Energie (EDS) pentru analiza compozitionala si Difractie de Electroni Retroimprastiati (EBSD) pentru caracterizare microstructurala si cristalografica. Procedura de caracterizare poate fi completata prin prelucrarea ulterioara a pachetelor de date cu ajutorul Thermo Scientific Avizo Software pentru reconstructia 3D morfo-structurala la scara nanometrica a intregului volum investigat.
Coloana ionica Thermo Scientific Sidewinder HT ofera imagini cu ioni secundari de inalta rezolutie si corodare ionica la tensiuni mari, permitand totodata fabricarea lamelelor TEM de inalta reproductibilitate datorita performantelor la tensiuni joase. Software-ul Thermo Scientific AutoTEM 4 permite prelucrarea facila, rapida si precisa a diferitelor tipuri de probe destinate investigatiilor HR-S/TEM. Prepararea lamelelor TEM calitative este efectuata prin slefuirea finala cu fascicul ionic de energie slaba, ai carui parametri de corodare sunt predefiniti si controlati automat pentru protejarea suprafetei finisate.
Pentru detalii
click aici