Instrumente cu Fascicule Focalizate de Ioni

Un sistem cu fascicul focalizat de ioni (FIB) este un instrument relativ nou care are un înalt grad de asemănare cu un sistem cu fascicul focalizat de electroni cum ar fi un microcop electronic cu baleiaj sau cu un microscop electronic cu transmisie. La aceste sisteme fasciculul de electroni este direcționat către probă și, în urma interacției, generează semnale care sunt utilizate pentru crearea de imagini mărite ale probei. Datorită faptului că fasciculul este bine controlat ca dimensiune și poziție iar semnalele sunt suficient de puternice pentru a fi detectate fără zgomot excesiv, aceste tipuri de instrumente sunt foarte puternice pentru a analiza probele în detaliu într-un larg domeniu de măriri.