Microscopul electronic cu fascicul dual HELIOS 6 HD FIB-SEM
Microscopul electronic cu scanare și fascicul focalizat de ioni Helios 6 HD (FIB-SEM) este conceput pentru a satisface nevoia industriei de volume mari de date TEM de înaltă calitate pentru analiza defecțiunilor și metrologie. Helios 6 face parte din familia de instrumente DualBeam și oferă o calitate și o productivitate sporite ale eșantioanelor, care, la rândul lor, oferă date TEM mai bune. Producerea de date TEM de calitate superioară oferă informații utile pentru a maximiza randamentele de producție și calitatea produsului final.
Pregătirea probei TEM
Helios 6 HD FIB-SEM maximizează utilizarea sistemului și reduce costurile de operare cu noua sa coloană Osprey FIB. Coloana Osprey FIB cu aliniere automată a surselor și a coloanei reduce nevoia de intervenție a operatorului și a tehnicianului de service. În plus, noul Thermo Scientific EasyLift NanoManipulator prelungește durata de viață a acului și reduce timpul de schimbare a acului pentru a minimiza întreruperile producției.
Rata de pregătire a probelor pentru TEM
Helios 6 HD FIB-SEM dispune de software-ul Thermo Scientific AutoTEM 6, care realizează alinieri automate și îmbunătățește gestionarea rețelei pentru o configurare mai rapidă. Un nou motor de scanare digitală permite imagini SEM și măcinare simultane, oferind, în același timp, o rotație precisă a scanării și o poziționare precisă a modelului. Aceste inovații hardware și software maximizează numarul de probe ce pot fi pregătite.
Calitatea probei TEM
Rata de succes și calitatea eșantionului sunt foarte importante, indiferent de tipul eșantionului sau de complexitate. Se așteaptă ca laboratoarele de analiză a defectelor să furnizeze date TEM de înaltă calitate pentru fiecare eșantion. Helios 6 HD FIB-SEM este echipat cu un motor de scanare digitală și o arhitectură de control FIB-SEM, care oferă punctare finală manuală sau semi-automatizată pentru izolarea precisă a caracteristicii de interes din eșantion. În plus, noua coloană Osprey FIB oferă o măcinare îmbunătățită la tensiuni de accelerare scăzute. Aceste caracteristici se combină pentru a furniza mostre TEM de înaltă calitate și pentru a vă ajuta să răspundeți la cele mai dificile întrebări de analiză.
Metrologia TEM
Helios 6 HD FIB-SEM generează un volum mare de mostre TEM, fiind un microscop ideal pentru metrologia de referință TEM pentru semiconductori. Helios 6 HD FIB-SEM completează TEM-urile Thermo Scientific Spectra, Talos și Metrios, oferind date de metrologie TEM de înaltă eficiență și fiabile.
Caracteristici tehnice importante:
• Noua coloană FIB cu aliniere automată a surselor și coloanei oferă stabilitate sporită și capacități de macinare la
tensiuni mici de accelerare.
• Noul motor digital de scanare și modelare permite imagistica SEM și măcinarea FIB simultană, ceea ce permite o punctare
mai precisă și o productivitate mai mare.
• Aplicația AutoTEM 6 este concepută pentru a oferi rezultate din noua platformă hardware Helios 6 HD FIB-SEM. Acest
software foloseste inteligența artificială și aliniază automat toate locațiile grilei, oferind capabilități îmbunătățite
de gestionare a rețelei și o scădere a timpului de configurare.
• Interval prelungit între schimburile de ac EasyLift NanoManipulator și înlocuirea simplificată, ceea ce duce la o
disponibilitate sporită a sistemului și la rezultate mai bune.
Descarcă broșura Helios 6 HD FIB-SEM aici
Pentru detalii, click aici
