Microscop electronic de baleiaj APREO SEM
Apreo SEM reuneste performantele de rezolutie ultra-inalta (UHR) la tensiuni de accelerare mari si sensibilitate de detectie la tensiuni joase, datorita constructiei inovatoare a lentilelor finale si modului de lucru in vid scazut, pentru compensarea incarcarii electrostatice. Prin sursa electronica Schottky-FEG de inalta stabilitate si configuratia speciala a coloanei electronice NiCol, Apreo furnizeaza in cel mai scurt timp imagini de cea mai inalta calitate pe materiale de orice natura, deosebindu-se de orice alt sistem din categoria UHR-SEM. Interfata grafica de comanda permite utilizatorului selectarea conditiilor de lucru optime pentru examinarea morfologica si analitica a probelor, indiferent de proprietatile electrice sau magnetice ale acestora.
Apreo SEM reprezinta instrumentul ideal pentru caracterizarea nanoparticulelor, catalizatorilor, pulberilor si nanodispozitivelor, datorita lentilelor finale electrostatice (Apreo C) capabile sa examineze la rezolutie nanometrica probe magnetice si dielectrice. Lentilele compuse (electrostatice si electromagnetice) ale versiunii Apreo S permit rezolutii UHR in modul de vizualizare in imersie electromagnetica (Immersion Mode), chiar si la distante analitice mari (WD = 10 mm). Lentilele electrostatice asigura rezolutie inalta prin achizitia simultana a diferitelor semnale cu ajutorul detectorilor din coloana, in timp ce lentilele compuse garanteaza rezolutie nativa de 1 nm la 1 kV si subnanometrica pe intreg intervalul de tensiuni de 1 – 30 kV, prin filtrarea semnalelor.
Flexibilitatea sistemului de detectie Trinity se datoreaza celor trei detectori pozitionati in lentile si coloana la distante diferite fata de proba: T1 in lentile pentru BSE de energie mare, T2 mai sus, in lentile, pentru colectarea SE, T3 in partea superioara a coloanei pentru SE de energie mica (<2 eV). Aceasta configuratie unica furnizeaza simultan informatii SE si BSE despre suprafata, morfologia si compozitia probelor chiar si la distante de lucru mari. Detectia selectiva a electronilor retroimprastiati (BSE) asigura cel mai bun contrast de material la tensiuni de accelerare si curenti de emisie mici, chiar si pe probe sensibile la fasciculul de electroni accelerati. Pozitionarea detectorului T1 in apropierea probei determina achizitionarea foarte rapida a imaginilor cu semnal BSE puternic, avand contrast superior chiar si in timpul navigarii, focalizarii si maririi pe proba. Contrastul se pastreaza la curenti pe proba de cativa pA aplicati pe materiale sensibile, in timp ce valoarea maxima de 400 nA este extrem de utila pentru analiza chimico-structurala.
Suplimentar fata de sistemul Trinity din coloana (T1, T2, T3), Apreo SEM dispune de detectori in camera, potriviti oricarui tip de aplicatie. Detectorul ETD colecteaza semnale SE si BSE prin polarizare inversa. Detectorul DBS retractabil utilizeaza individual sau impreuna segmentele ABS si CBS pentru colectarea selectiva a semnalelor BSE emise la unghiuri si energii diferite. LVD este detector SE dedicat modului de lucru in vid scazut. Detectorul analitic GAD se monteaza pe lentila finala pentru detectie SE in vid scazut. Imagistica de inalta rezolutie la tensiune de accelerare mare in BF, DF si HAADF a probelor subtiri este posibila cu STEM 3+ segmentat si retractabil. Camera video alb-negru CCD-IR asigura navigarea in siguranta pe proba, iar camera color NavCam ofera privire de ansamblu asupra mesei probei, pe care o deplaseaza cu un singur click in locatia selectata. Toti detectorii segmentati sunt controlati software pentru utilizarea individuala sau in orice combinatie a segmentelor pentru cele mai detaliate informatii vizuale. Camera probei cu 12 porturi si latimea interioara de 340 mm poate receptiona pana la trei detectori EDS sau WDS pentru analiza elementala complexa, sistem EDS-EBSD-WDS coplanar si ortogonal fata de axele de inclinare a probei, catodoluminiscenta, Raman corelativ, EBIC, sisteme de criogenare sau de acoperire a probelor in medii gazoase.
Configuratia standard include strategii software de examinare a probelor izolatoare, respectiv: SmartSCAN pentru modul HiVac, DCFI pentru compensarea deplasarii imaginii in timpul achizitionarii si filtrarea incarcarii electrostatice. Pentru reglementarea incarcarii electrostatice in cele mai complexe aplicatii, Apreo SEM include optional sistemul de pompare diferentiala, obtinandu-se in camera probei vid scazut de pana la 500 Pa. Imaginile, rezultatele analitice si rezolutia nu sunt alterate, datorita detectorilor dedicati LoVac, curentilor de fascicul de pana la 400 nA, stabilitatii fasciculului electronic in coloana si a lentilelor finale compuse, care ofera energii de aterizare pe proba de pana la 30 keV. Caracteristicile constructive si functionale sunt controlate software prin interfata grafica de utilizare xT structurata pe grade de dificultate progresive, incluzand functii de Undo/Redo, alinierea coloanei electro-optice, personalizarea conditiilor de lucru, automatizarea proceselor, operare si diagnosticare de la distanta.
Flexibilitatea sistemului de detectie Trinity se datoreaza celor trei detectori pozitionati in lentile si coloana la distante diferite fata de proba: T1 in lentile pentru BSE de energie mare, T2 mai sus, in lentile, pentru colectarea SE, T3 in partea superioara a coloanei pentru SE de energie mica (<2 eV). Aceasta configuratie unica furnizeaza simultan informatii SE si BSE despre suprafata, morfologia si compozitia probelor chiar si la distante de lucru mari. Detectia selectiva a electronilor retroimprastiati (BSE) asigura cel mai bun contrast de material la tensiuni de accelerare si curenti de emisie mici, chiar si pe probe sensibile la fasciculul de electroni accelerati. Pozitionarea detectorului T1 in apropierea probei determina achizitionarea foarte rapida a imaginilor cu semnal BSE puternic, avand contrast superior chiar si in timpul navigarii, focalizarii si maririi pe proba. Contrastul se pastreaza la curenti pe proba de cativa pA aplicati pe materiale sensibile, in timp ce valoarea maxima de 400 nA este extrem de utila pentru analiza chimico-structurala.
Suplimentar fata de sistemul Trinity din coloana (T1, T2, T3), Apreo SEM dispune de detectori in camera, potriviti oricarui tip de aplicatie. Detectorul ETD colecteaza semnale SE si BSE prin polarizare inversa. Detectorul DBS retractabil utilizeaza individual sau impreuna segmentele ABS si CBS pentru colectarea selectiva a semnalelor BSE emise la unghiuri si energii diferite. LVD este detector SE dedicat modului de lucru in vid scazut. Detectorul analitic GAD se monteaza pe lentila finala pentru detectie SE in vid scazut. Imagistica de inalta rezolutie la tensiune de accelerare mare in BF, DF si HAADF a probelor subtiri este posibila cu STEM 3+ segmentat si retractabil. Camera video alb-negru CCD-IR asigura navigarea in siguranta pe proba, iar camera color NavCam ofera privire de ansamblu asupra mesei probei, pe care o deplaseaza cu un singur click in locatia selectata. Toti detectorii segmentati sunt controlati software pentru utilizarea individuala sau in orice combinatie a segmentelor pentru cele mai detaliate informatii vizuale. Camera probei cu 12 porturi si latimea interioara de 340 mm poate receptiona pana la trei detectori EDS sau WDS pentru analiza elementala complexa, sistem EDS-EBSD-WDS coplanar si ortogonal fata de axele de inclinare a probei, catodoluminiscenta, Raman corelativ, EBIC, sisteme de criogenare sau de acoperire a probelor in medii gazoase.
Configuratia standard include strategii software de examinare a probelor izolatoare, respectiv: SmartSCAN pentru modul HiVac, DCFI pentru compensarea deplasarii imaginii in timpul achizitionarii si filtrarea incarcarii electrostatice. Pentru reglementarea incarcarii electrostatice in cele mai complexe aplicatii, Apreo SEM include optional sistemul de pompare diferentiala, obtinandu-se in camera probei vid scazut de pana la 500 Pa. Imaginile, rezultatele analitice si rezolutia nu sunt alterate, datorita detectorilor dedicati LoVac, curentilor de fascicul de pana la 400 nA, stabilitatii fasciculului electronic in coloana si a lentilelor finale compuse, care ofera energii de aterizare pe proba de pana la 30 keV. Caracteristicile constructive si functionale sunt controlate software prin interfata grafica de utilizare xT structurata pe grade de dificultate progresive, incluzand functii de Undo/Redo, alinierea coloanei electro-optice, personalizarea conditiilor de lucru, automatizarea proceselor, operare si diagnosticare de la distanta.
Descarcă broșura APREO SEM aici
Pentru detalii click aici
