Quattro ESEM colecteaza simultan semnale de la cel mult patru detectori sau segmente in orice combinatie. Se poate opta pentru masa probei complet motorizata, cu deplasare pe axele XY de 55 mm x 55 mm (Quattro C), sau 110 mm x 110 mm (Quattro S), deplasare pe verticala de 65 mm si inclinare stanga – dreapta de 105º. Sistemul de detectie este format din: detector ETD (de tip Everhart-Thornley) pentru SE, LVD pentru SE in vid scazut, GSED (Gaseous SED) pentru SE in modul ESEM, DBS segmentat retractabil (ACS + CBS) pentru BSE directionali, ICD in coloana utilizat cu functia de decelerare a fasciculului (Beam Deceleration), GAD in lentile pentru BSE in toate modurile de lucru (HiVac, LoVac, ESEM), STEM 3+ segmentat retractabil pentru imagistica BF, DF, HAADF, WetSTEM cu masa a probei Peltier (Quattro S, exclusiv), RGB-CLD pentru catodoluminiscenta, camera alb-negru CCD-IR si camera color NavCam corelata cu masa probei.
Camera de analiza cu 12 porturi si spatiu interior de 340 mm permite instalarea simultana a trei detectori EDS (doi la 180º) pentru analiza elementala 3D, detectori coplanari EDS-EBSD-WDS pentru analiza chimico-structurala, detector DBS retractabil pentru imagistica de contrast, imagistica de inalta rezolutie STEM, catodoluminiscenta etc. Masa probei superioara de pe modelul Quattro S permite utilizarea unei game diverse de suporturi pentru probe: suport pentru 12 stub-uri standard (de 12 mm), sau pentru 18 stub-uri, 3 probe inclinate, in sectiune si grila STEM, ori suport pentru 6 grile STEM. Fara a restrange mobilitatea mesei, pot fi investigate probe voluminoase in stare bruta, cu diametrul de 122 mm, 85 mm inaltime si greutate de 0.5 kg (sau pana la 2 kg, fara inclinarea probei). Navigarea pe suprafete extinse sau intre diferite probe se realizeaza usor, prin utilizarea camerei alb-negru CCD-IR, ce indica distanta de siguranta fata de piesa polara si a celei color NavCam, ce permite schimbarea probei sau a pozitiei pe proba cu un singur click si afisarea celei mai recente imagini obtinute local.
Caracteristicile tehnice superioare ale echipamentului Quattro ESEM sunt controlate software de interfata utilizator xT cu nivele progresive de experienta, care include pentru incepatori optiuni de Undo/Redo de revenire la conditiile anterioare de caracterizare, iar pentru avansati, alinierea electronica a coloanei electronice si detectie selectiva dupa traiectorie sau energie pentru optimizarea contrastului. Quattro ESEM dispune de presetari ale coloanei electro-optice si ale parametrilor de baleiere, navigare usoara pe proba monitorizata video, operare de la distanta, SmartSCAN si deflexie compensate (DCFI). Solutiile software integrate acopera toate cerintele de operare si prelucrare date, pana la nanolitografie cu fascicul de electroni. MAPS 3 software realizeaza mapping elemental pe arii extinse prin achizitie si alipire automata a imaginilor si coreleaza rezultatele diferitelor tehnici de caracterizare. AutoScript 4 este o interfata Python pentru dezvoltarea de catre utilizator a procedurilor automatizate proprii de achizitie, sortare si prelucrare a datelor. TopoMaps este utilizat pentru colorarea imaginilor SEM, analiza vizuala si reconstructia 3D a suprafetei.
Descarcă broșura Quattro ESEM aici
Pentru detalii click aici