Microscop electronic cu fascicul dual HELIOS HYDRA

Microscop electronic cu fascicul dual HELIOS HYDRA

Helios Hydra DualBeam impune noi standarde de microfabricatie, prepararea probelor si imagistica 3D de volum mare, prin intrunirea caracteristicilor avansate ale coloanei Plasma-FIB cu multiple specii ionice si curenti de pana la 2.5 µA si ale coloanei electronice cu monocromator si curenti de pana la 100 nA. Coloana PFIB unica permite selectarea automata, rapida si facila a uneia din cele patru surse ionice (Xe, Ar, O, N) pentru indeplinirea oricaror cerinte tehnologice. Datorita performantelor ridicate in toate conditiile de lucru, pot fi optimizate tehnicile conventionale si se pot dezvolta noi aplicatii. De exemplu, calitatea lamelelor S/TEM configurate rapid cu ionii de Xe, pot fi slefuite la energie joasa cu ajutorul celor de Ar. Tehnologia avansata sustinuta de solutii software specializate ofera oamenilor de stiinta si inginerilor proceduri automatizate sigure de corodare si caracterizare pentru rezultate precise si constante.
Helios Hydra DualBeam este un instrument universal, care include toate metodele de corodare ionica si elimina astfel compromisurile si restrictiile tehnologice. Prepararea probelor TEM fara contaminare cu Ga+ se realizeaza cu ioni de Xe, O sau Ar, in functie de specificul aplicatiilor. Caracterizarea multimodala de substrat si in volum este complet automatizata si controlata software cu ajutorul AutoSlice and View 4. Coloana electronica Elstar cu monocromator UC+ ofera rezolutie nanometrica la tensiuni joase si imagini clare achizitionate cu cei sase detectori disponibili in coloana si camera probei. Procesele de corodare si acoperire ionica pot fi imbunatatite prin adaugarea sistemelor optionale de purjare gaze MultiChem sau GIS. Masa probei motorizata se deplaseaza piezoelectric pe axele XY cu 150 mm x 150 mm si repetabilitate <1 µm, camera video CCD-IR e prevazuta cu sistem anticoliziune, iar cea color NavCam coreleaza imaginea SEM cu regiunea examinata anterior.     

Noua coloana Multiple Ion Species PFIB cu rezolutia de 10 nm la punctul de coincidenta permite configurarea si vizualizarea probelor la rezolutie inalta a suprafetelor cu ioni de energie mica pentru reducerea defectelor de prelucrare si obtinerea rezultatelor calitative si reproductibile pe orice tip de proba. Procesele automatizate de nanostructurare sau de preparare a probelor incep la tensiunea de accelerare de 30 kV si puterea mare de corodare a ionilor de Xe, coborand controlat pana la 2 kV pentru finisarea suprafetelor cu Ar+. Prepararea in situ de inalta calitate a lamelelor S/TEM este complet asistata software de AutoTEM 5, care automatizeaza intregul proces, pornind de la selectarea ariei de interes si pana la prelucrarea fina a suprafetelor cu Ar+. Sunt controlate in timp real dozarea ionilor, energia de fascicul, unghiul de corodare, comutarea intre diferitele specii ionice, subtierea si finisarea lamelei, recoltarea si manipularea produsului final cu ajutorul unui nanomanipulator (EasyLift) compatibil cu sistemul de introducere a probelor in TEM.  

Structurile si defectele interne ale materialelor avansate sunt riguros investigate datorita preciziei de pozitionare pe zonele de interes cu ajutorul solutiilor hardware si software complementare. Analiza 3D a volumelor mari de material este greu accesibila instrumentelor FIB cu ioni de Ga, astfel ca performantele sporite de corodare ale Xe+ asigura rezultate concludente pentru aplicatii industriale. Diversitatea experimentala oferita de multiplele specii ionice creste eficienta procedurilor de vizualizare si nanostructurare prin prelucrarea fina a suprafetelor obtinute cu Xe+ si eliminarea contaminarii cu Ga+. Performantele la curenti mari ale sistemului Helios Hydra sunt valorificate de software-ul dedicat AutoSlice and View 4, care permite achizitia automata de date reprezentative provenite din imagistica de contrast BSE, morfologie SE, analiza elementala EDS si structura cristalografica EBSD. Datele vizuale, analitice si structurale pot fi prelucrate suplimentar cu programul Avizo for Materials Science si modulele sale aditionale pentru reconstructie 3D corelativa si experimente complexe de dinamica.

Coloana electronica Elstar este echipata cu sursa Schottky-FEG de stralucire ultra-inalta, cu tehnologia monocromator UC+, care reduce dispersia energetica a fasciculului sub 0.2 eV, pentru curenti de pana la 100 nA. Se obtin astfel rezolutie sub-nanometrica pe intreg intervalul de tensiuni de 1 – 30 kV si detalii structurale pe cele mai sensibile probe, aplicand numai cateva sute de volti si functia de decelerare a fasciculului (Beam Deceleration). Sistemul de sase detectori in coloana si camera probei permite achizitia simultana a semnalelor SE si BSE de energii si traiectorii diferite pentru cele mai detaliate imagini pe suprafate plane, inclinate sau in sectiune. Reproductibilitatea rezultatelor de inalta rezolutie este garantata de alinierea automata a coloanei electro-optice, stabilitatea termica a lentilelor electromagnetice alimentate constant si baleierea rapida si liniara pe proba a lentilor electrostatice. 

Pentru detalii click aici

Cere o oferta pentru Microscop electronic cu fascicul dual HELIOS HYDRA

Produse Asemanatoare